集成电路制造技术 - 中国高校教材图书网
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书名： |
集成电路制造技术
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| ISBN： | 978-7-313-18651-5 |
责任编辑： | |
| 作者： |
张亚非、段力
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装订： | 0 |
| 印次： | 1-1 |
开本： | 16开 |
| 定价： |
￥88.00
折扣价：￥83.60
折扣：0.95
节省了4.4元
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字数： |
639千字
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| 出版社： |
上海交通大学出版社 |
页数： |
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| 出版日期： |
2019-01-09 |
每包册数： |
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| 国家规划教材： |
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省部级规划教材： |
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| 入选重点出版项目： |
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获奖信息： |
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| 内容简介： |
《集成电路制造技术/前沿电子信息专业教材系列》主要讲述集成电路与微纳制造工艺技术，既有基本原理和工艺技术的阐述，也有国内外近期发展状况的介绍。《集成电路制造技术/前沿电子信息专业教材系列》把集成电路的工艺技术分类为图形化（光刻）、加法（薄膜的技术）、减法（刻蚀技术）、乘除法（离子注入、silicide）及其集成电路工程学（良率、可靠性）和集成电路后勤工作（超净问、IC衍生产业链）几大类，便于学生掌握、记忆和类推。
《集成电路制造技术/前沿电子信息专业教材系列》可作为高等院校微电子学和半导体专业本科生的教材，也可供有关专业本科生、研究生及工程技术人员阅读参考。
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| 作者简介： |
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张亚非，上海交通大学微纳科学研究院副院长，教授；上海交通大学纳米科学与技术研究方向学术带头人。
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| 章节目录： |
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| 精彩片段： |
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| 书 评： |
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| 其 它： |
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