气态分子污染及控制技术 - 研究生创新人才培养系列教材 - 中国高校教材图书网

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气态分子污染及控制技术 - 研究生创新人才培养系列教材 - 中国高校教材图书网

	书名：	气态分子污染及控制技术研究生创新人才培养系列教材
	ISBN：	978-7-5618-6824-9	责任编辑：
	作者：	裴晶晶等相关图书	装订：
	印次：	1-1	开本：	16开
	定价：	￥100.00　折扣价：￥95.00 折扣：0.95 节省了5元	字数：	293千字
	出版社：	天津大学出版社	页数：	188页
	出版日期：	2021-02-15	每包册数：
	国家规划教材：		省部级规划教材：
	入选重点出版项目：		获奖信息：
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内容简介：
本书将专门针对电子洁净厂房内的气态分子污染物，从定义及分类（第一章），影响及危害（第二章），标准及检测（第三章），净化机理（第四章），净化材料（第五章），控制系统及设备（第六章），及净化性能测试（第七章）七个方面，针对半导体行业重大需求，紧扣行业应用，瞄准“AMC污染”，弥补“AMC净化理论与技术空白”，逐层深入，旨在为相关的学者、研究人员及工程技术人员提供相关基础知识。
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